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南大光电：“先进光刻胶产品开发与产业化”项目通过验收

来源：互联网2021年08月06日

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　　7月29日，江苏南大光电材料股份有限公司作为牵头单位，承担的国家科技重大专项（02专项）“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”之“先进光刻胶产品开发与产业化”项目（项目编号：2018ZX02402），收到极大规模集成电路制造装备及成套工艺实践管理办公室下发的项目综合绩效评价结论书，项目通过了专家组验收。

　　项目总体目标是开发高端集成电路制造用ArF干式与浸没式光刻胶成套工艺技术，形成规模化生产能力；构建与集成电路行业国际先进水平接轨的技术和管理人才团队，建立完善的技术开发、生产运行、品质管理、市场开拓运行体系和ArF光刻胶产业自主发展相应的知识产权体系。

　　该项目分为三个子课题，其中公司控股子公司宁波南大光电材料有限公司承接的课名为：ArF光刻胶产品的开发和产业化。该子课题主要在以下方面开展研究：1、ArF光刻胶产品配方及工艺的开发；2、配方关键组分材料的开发；3、ArF光刻胶产品及关键组分的分析测试能力的研究；4、ArF光刻胶的产业化研究。

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