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上海新阳KrF/ArF光刻胶预计2021年初开展上线及量产测试验证

来源:互联网2020年12月15日

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  12月14日,上海新阳发布公告称,公司ArF干法光刻胶和KrF厚膜光刻胶的研究阶段均已完成,产品配方及生产工艺等已基本确定,中试产品已通过客户基础工艺考核,后续将进行客户上线验证及量产前测试验证,预计KrF厚膜光刻胶2022年可实现量产,ArF干法光刻胶2023年开始量产,当年各项产品销售收入合计预计可达近2亿元。
  
  目前公司光刻胶项目研发的主要进展及计划情况如下:
  
  上海新阳KrF/ArF光刻胶预计2021年初开展上线及量产测试验证
  
  预计此次高端光刻胶项目研发成功后,公司将掌握包括原材料纯化工艺、配方工艺和生产工艺在内的、具有完整知识产权的ArF干法光刻胶和KrF厚膜光刻胶的规模化生产技术,可实现两大类光刻胶产品及配套试剂的量产供货,并预计将取得20个以上发明专利。
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