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期刊专利论文

一种光刻胶树脂、制备方法及光刻胶

来源:国家知识产权局2025年12月18日

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万华化学: 一种光刻胶树脂、制备方法及光刻胶
 
[发明公布] 一种光刻胶树脂、制备方法及光刻胶
 
申请公布号:CN121135937A
 
申请公布日:2025.12.16
 
申请人:万华化学集团股份有限公司
 
摘要:本发明公开了一种光刻胶树脂、制备方法及光刻胶,所述光刻胶树脂具有式(I)所示的结构通式,其可通过苯乙烯及其衍生物、丙烯酸类化合物通过Pd(II)催化剂聚合得到。本发明制备的光刻胶树脂具有分子量可控、分子量分布较窄的特点;含有该聚合物树脂的光刻胶可以明显改善刻蚀边界不清晰,线宽粗糙度较大的问题,满足更高的光刻要求。
 
 
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